在用於5G和自動駕駛的高性能半導體需求持續擴大的同時，最尖端半導體的投資成本也越來越高。東芝旗下的紐富來（NuFlare Technology）是一家大型電子束掩膜光刻設備製造商，其産品可在光掩膜上刻畫出精細圖案。關於市場需求動向和業務戰略，日本經濟新聞（中文版：日經中文網）採訪了紐富來社長杉本茂樹。

  

NuFlare Technology將擴充光刻設備的産品陣容

  

      記者：請介紹一下最尖端光刻設備的研發狀況。

 

      杉本茂樹：我們正在研究5奈米線寬、26萬束雷射的多束光刻設備，但第一代産品很困難。想讓26萬束雷射進行高速開閉，但不能穩定運作。本公司沒有將特殊的大型積體電路（LSI）與MEMS組合起來的技術，於是讓母公司東芝來研發。

 

      在我們的研發遲遲沒有進展期間，客戶的需求已經從5奈米升級到3奈米。現在正進行下一代設備的研發，在技術上與第一代有重疊的部分。雖然研發時費盡週折，但對下一代設備有幫助。

 

      記者：從4月起成為東芝的全資子公司，帶來了什麼效果嗎？

 

      杉本茂樹：雖然沒有什麼顛覆性的變化，但向母公司提出什麼請求時，回應變得更快了。研發體制也由25人擴充到180人。

 

      記者：會繼續走精細化的道路嗎？

 

      杉本茂樹：追求精細化是迄今為止的主要發展方向，但線寬不那麼精細的器件市場也在擴大。最尖端的半導體需要龐大的研發經費，能進行鉅額設備投資的企業並不多。與此同時，半導體的市場基礎在擴大。線寬上落後1～2代的設備的需求也在提高，我們將通過應對各種各樣的線寬來滿足客戶的需求。

  

 

      記者：擴大設備的産品陣容，不會導致成本增加嗎？

 

      杉本茂樹：包括傳統機型在內，我們正在統一配件。此前根據市場動向，只要生産2種機型就可以了，但今後將增加到5～6個機型。和分別設計相比，生産效率有所提高，售後服務也更為方便，並能縮短産品的生産交貨週期。

 

紐富來社長杉本茂樹

  

      多束設備在安裝空間上和本公司此前擁有較高市佔率的單束設備幾乎完全一樣。不僅可以方便地用新設備替換舊設備，客戶也無需改變光刻設備的佈局。

 

      記者：受新冠病毒疫情影響，最尖端的半導體市場有什麼變化？

 

      杉本茂樹：客戶的需求基本沒有變化，都表示一旦解除入境限制，希望隨時都想引進設備。甚至還有客戶生氣地問「你們究竟什麼時候才能來」。

 

      此次深切感受到海外售後體制的脆弱性。以往一發生問題，都是從日本派人過去。目前正考慮在海外安排一定程度的人員。比起從日本派遣專門技術人員也許會花一點時間，但總比一直沒法從日本派人、項目處於停頓要好一些。

 

      記者：中國要加強尖端半導體的國産化，這是不是一個機會？

 

      杉本茂樹：中國需求的增長是完全有可能的。中國企業如果不能從美國購買製造設備，對日本産品的需求預計會增加，但美國很可能會表達不滿。

  

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