老式半導體製造設備的需求出現增加。用於形成電路的二手曝光設備的價格比2年前翻了一番。除了交貨期延長的新設備的替代需求之外，正在推進半導體國産化的中國對成熟技術的設備的洽購強勁，出現了類似於特殊需求的情況。尼康已開始投放新産品，對日本國內企業來説，半導體設備需求高漲也是一次新的商機。

    

      「二手半導體製造設備出現了前所未有的興旺景象」，銷售二手製造設備的SurplusGLOBAL Japan副社長熊澤修二難掩驚訝之情。據其稱，設備剛開始出售，就有其他半導體製造商前來採購。

 

 

       在半導體供求關係緊張的背景下，製造商紛紛進行增産投資和建立新的生産線。據日本半導體製造裝置協會（SEAJ）預測，2021年度日本生産的半導體設備的銷售額將比2020年度增長41％，達到3.3567萬億日元，刷新歷史紀錄。但設備供應仍跟不上旺盛的需求，「新設備的交貨期從1年延長到了1年半左右」（租賃公司）。

 

      由於設備的交貨期延長，半導體廠商也被迫採取應對措施。台積電（TSMC）表示，已派遣多個團隊支援設備製造商。該公司首席執行官（CEO）魏哲家表示，設備製造商正在竭盡全力解決所有問題。

  

      作為替代品，需求增加的是可在1個月左右的短時間內採購到的二手設備。大型租賃公司及中間商等紛紛從生産尖端半導體的廠商手中收購不再使用的設備，然後出售給生産通用半導體等的其他半導體廠商。

 

      一家已購買二手設備的廠商的相關負責人透露稱：「説實話，我們想買新設備，但為了滿足客戶突然提出的增産要求，就用很快就能買到的二手設備代替了新設備」。

 

       一對一的交易佔主流，價格也因商品狀態和使用年限而異。據多個行業相關人員介紹，在半導體基板上形成電路的二手曝光裝置的價格比半導體普遍緊缺的2年前平均上漲了2倍左右。租賃公司Mitsubishi HC Capital的營業負責人説：「價格上漲最快時，有的産品價格漲到了原來5倍」。

    

       特別感到緊缺的是直徑200毫米晶圓裝置的老款産品。現在的主流産品300毫米産品用於智慧手機的半導體等，而汽車及家電使用的半導體大多使用200毫米産品。從1990年代開始作為主流使用的200毫米産品是已使用20多年的産品，大多作為二手物品流通。據稱「有的跟當時的新品價格相當」。

    

    

       積極投資成熟生産線的是中國。隨著美國限制出口，尖端裝置採購越來越難，而成熟産品受限制很少。半導體行業團體SEMI預測，2020年全球對200毫米産品的投資額超過30億美元，2021～2022年猛增至50億美元左右。2022年的産能份額方面，預計中國佔全球的21％，在各地區中最高。

    

      尤其面向純電動汽車（EV）用於電力控制的功率半導體的能力不斷增強，也有很多整體購買製造工序裝置的情況。三井住友融資租賃公司的營業負責人指出：「即使價格高，也紛紛採購」。

    

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       成熟生産線的投資熱興起對日本裝置廠商來説是商機。曝光裝置方面，最尖端生産線採用的EUV（極端紫外線）曝光裝置，荷蘭的ASML佔壟斷地位，而原來佔主流的「i線」等曝光形式，尼康等一直佔有很高市佔率。尼康決定2024年度之前推出「i線」曝光的新産品。

      

       裝置需求依然旺盛，關於二手裝置也有很多企業説「今年一整年或許都會保持高價」（Hightec Systems的阿部守晃社長）。在二手産品價格居高不下的背景下，如果使用成熟技術的裝置也重新上市，能夠獲得充分收益的可能性增大。

    

     日本經濟新聞（中文版：日經中文網）松本桃香、江口良輔

    

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