韓企量産氟化氫，推進半導體材料國産化
2020/06/18
南韓SK Materials於6月17日發佈消息稱，已啟動用於半導體生産工序的氟化氫氣體的量産。據稱達到了一定水準的高純度，三星電子和SK海力士將採用。關於日本加強對韓出口管理的半導體相關材料，南韓企業的國産化正在取得進展。
SK Materials已在南韓東部的榮州市的工廠啟動量産。該公司表示，實現量産的氟化氫氣體達到被稱為「five nine（5個9）」的純度，即99.999％。雖然品質仍低於日本原材料廠商此前出口的11個9這一超高純度的「Eleven Nine」，但在半導體晶圓的清洗等一部分生産工序已開始使用。
SK Materials在日本加強對韓出口管理之後，於2019年11月建立了相關材料的開發中心。在充分利用SK海力士設立的基金資金的同時，一直推進實現氟化氫量産化的研發。目前已使全年15噸規模的生産設備投入運作，計劃到2023年將南韓國內半導體生産所用的氟化氫的國産化比率提高至70％。
日本政府2019年7月出台對韓出口管理的嚴格化，事實上限制了半導體相關材料的出口。南韓企業尋找代替供應企業，南韓的材料廠商獲得政府支援，一直在加快相關材料的國産化。
日本經濟新聞（中文版：日經中文網）細川幸太郎 首爾報道
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