NIKKEI——日本經濟新聞中文版

　　日本國內最大工業氣體廠商大陽日酸將在中國新建特殊氣體工廠，生産用於半導體製造工序的氣體“乙硼烷”。新工廠預定2019年投入運作，投資額預計為30～40億日元。中國今後有望相繼新建半導體工廠，用氣需求將出現增長。

　　大陽日酸在江蘇省揚州的新工廠生産的是特殊氣體乙硼烷。此外，該工廠還具備提純“氟甲烷”等氣體並供貨的能力。中國將成為大陽日酸建立面向半導體的氣體生産基地的第4個國家。

　　目前，中國有很多半導體工廠建設計劃，到2020年預計有10多處投入運作。大量消費乙硼烷的積層型NAND快閃記憶體的生産被認為將增加，大陽日酸計劃把在中國市場的乙硼烷份額提高至50％以上。