NIKKEI——日本經濟新聞中文版

　　日本荏原將加強半導體製造設備的生産體制。將在位於神奈川縣和熊本縣的工廠推進生産線自動化和擴建，增産該公司全球份額較高的「乾式真空泵」和「CMP設備」。以此應對數據通信增長帶來的全球半導體需求增加。荏原計劃2021年度使精密和電子業務的營業收入比2020年度增加21％，達到1700億日元。

　　在製造乾式真空泵的神奈川縣藤澤市的工廠，此前以人力完成的作業將通過引進機器人等實現自動化，産能增至3倍。已自動化的生産線將在2021年8月之前投入運作。在位於熊本縣的CMP設備工廠，也把生産線從現在的2條增至3條，産能增至1.5倍，具體産量並未公佈。

荏原的CMP設備（左）和乾式真空泵（右）

　　荏原還將增加維修基地。4月之前在德國德累斯頓使乾式真空泵的維修工廠投入運作。此外，還正在中國的安徽省合肥市建設乾式真空泵的維修工廠，2021年夏季將啟動運作。

　　乾式真空泵需要每半年進行1次大修，因此需要加強維修體制。隨著半導體需求的增加，製造設備的開工率也在提高，乾式真空泵的維修需求進一步增加。荏原在全球約有10處維修基地，今後將根據需求增加基地。