NIKKEI——日本經濟新聞中文版

　　東芝日前開發出了能瞬間將微細瑕疵和異物轉變為圖像的可視化檢查技術。可以識別通過肉眼和此前的圖像檢查難以識別的深度僅數微米（微米為100萬分之1米）左右的微細瑕疵。應用了通過開發螢光燈等照明設備而積累的檢出散亂光的技術。設想用於相機等精密機器的零部件品質檢查等。東芝將提高檢查靈敏度，2020年度以後實現實用化。

可識別以此前檢查使用的圖像（左）難以識別的瑕疵，利用東芝的新技術拍攝的深約2微米的瑕疵（右）

　　即便是提高圖像解析度也難以識別的極小瑕疵，該技術也可發現。通過結合適於捕捉光散亂的鏡頭和借助色彩識別光散亂角度的濾波器得以實現。利用了光反射時瑕疵在某些部分發生散亂的現象。可用不同色彩分別拍攝，例如光滑的部分用藍色，瑕疵的部分用紅色等。

　　這種技術除了能用於檢查以每秒數米速度移動的生産線上的物品外，還能用於檢查運作中的設備的磨損狀況等。針對有數微米左右的瑕疵就事關品質的相機鏡頭，有望在其工廠等處得到利用。