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尼康推出第8代高精細螢幕用曝光設備

2022/03/25

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半導體

  尼康3月24日發佈消息稱,將於4月上旬推出可以顯示極微細影像的平板螢幕(FPD)曝光設備。該設備能製造高解析度的大螢幕螢幕,還提高了生産效率。設想生産高畫質的可折疊智慧手機及大螢幕電視等多種FPD産品。考慮以中國市場等為中心進行銷售。

  

尼康「第8代」高精細FPD曝光設備「FX-88S」

    

  新上市的FPD曝光設備名為「FX-88S」。使高解析度、擁有量産經驗的、面向「第6代」基板的曝光設備的投影鏡頭,去支援尺寸大的「第8代」基板。採用多鏡頭系統,實現了大面積統一曝光。通過支援更大的玻璃基板,有利於生産畫面尺寸大的螢幕。

   

  通過沿用第6代基板的曝光設備採用的高精度焦點修正系統,整面基板都可以保持均一的線寬。還可以適應基板的彎曲,提高了成品率。基板臺的驅動速度比原機型提高了30%,生産效率也更高。

    

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