NIKKEI——日本經濟新聞中文版

　　日本化工廠商宇部興産將把半導體清洗用藥液的産能到2027年度增至2021年度的2倍。目前由於旺盛的半導體需求，工廠處於滿負荷運轉狀態。宇部興産將向日本國內半導體和矽晶圓企業供貨。為應對日本國內今後的半導體材料需求增加，決定增強産能。

宇部興産將增強用於晶圓清洗的硝酸藥液的生産設備

　　將在山口縣宇部市的宇部化工廠增建硝酸藥液的生産線，這種藥液被用於清洗去除附著在晶圓上的微細顆粒物。具體投資額沒有透露。宇部興産採用該工廠生産的氨氣，製造高純度硝酸，製成藥液。硝酸藥液還被用於加工晶圓的蝕刻工序。

　　宇部興産的硝酸藥液佔據日本國內5成以上市佔率。該公司2020年把這處工廠的硝酸藥液産能增加約3成，目前仍處於滿負荷運轉狀態。據稱通過增産，宇部興産在這一領域佔據的日本國內份額將增至6成。