NIKKEI——日本經濟新聞中文版

      日本半導體製造設備大型廠商東京電子將發售用於智慧手機等配備的高解析度顯示器的蝕刻設備。採用可對OLED面板的玻璃基板進行均勻處理的方法，能以較高的密度形成電路圖案。預計將有助於OLED面板提高解析度、降低耗電量和提高功能等。

用於高解析度顯示器的電漿蝕刻設備「Impressio 1800 PICP Pro」

      新産品「Impressio 1800 PICP Pro」和「Betelex 1800 PICP Pro」是支援「第6代」（1500毫米×1850毫米）中小型面板用基板的電漿蝕刻設備。除了可支援較大的基板尺寸之外，處理基板的容器數量也各不相同。

      東京電子自主開發出了高密度電漿體源，為了實現高精度蝕刻，還提高了處理精度。可抑制對産品成品率産生不良影響的微小灰塵和異物等的産生，提高生産效率。

      目前東京電子正在與面板客戶企業商討銷售事宜，預計最快將於2021年內交貨。

      智慧手機的顯示器被認為今後有望支援指紋識別功能等，在技術上將不斷進步。