NIKKEI——日本經濟新聞中文版

　　日本半導體製造設備廠商東京電子受到旺盛的半導體需求推動，業績正在增長。這是因為隨著5G的普及，新一代半導體的需求增加，製造設備的洽購增多。今後還需要採取面向去碳化的措施。日本經濟新聞（中文版：日經中文網）記者針對經營戰略採訪了該公司的社長河合利樹。

　　記者：半導體行情火爆。請您談談前景。

　　河合利樹：2020年是朝著中長期增長穩步前進的一年。面向最尖端的半導體製造技術「EUV（極紫外）光刻」，在塗佈顯影設備（Coater Developer）領域，我們維持了100％的全球份額。在本公司具有優勢的成膜、蝕刻和清洗等對微細化十分重要的曝光工序上，有助於擴大份額的評價也在穩步提高。正在朝著達成（營業收入最多達到2萬億日元的）中期經營計劃順利邁進。

河合利樹

　　2020年的半導體前製程製造設備市場創出歷史新高，2021年保持進一步增長近2成的勢頭。在資訊通信技術（ICT）在全球範圍不斷得到應用的背景下，半導體的重要性進一步提升。為了滿足半導體器件高性能化帶來的製造設備需求，今後將積極投入開發費用。

　　記者：是否受到新冠疫情的影響？

　　河合利樹：在赴海外存在限制的情況下，借助與海外當地法人和工廠的合作、遠端支援、順暢的物流、零部件庫存的優化，按計劃裝配了超過上年的設備，這是一個成果。在新冠疫情下，再次確認了經驗與技術實力、來自客戶的信賴、能靈活應對變化的員工和挑戰精神。

　　記者：是否採取了確保資金等應對風險的措施？

　　河合利樹：為了在任何狀況下都能推進持續的增長投資，在平時就以穩健的財務基礎拓展業務。目前在交易方面沒有受到新冠疫情的影響。不過同時採取了（與金融機構簽署）信貸額度協議等應對風險的措施。

　　記者：負責運算的邏輯半導體的需求堅挺。

　　河合利樹：隨著用途的擴大，邏輯半導體需求維持堅挺，對設備的投資活躍。（用於智慧手機和個人電腦等的）DRAM受新冠疫情影響，2020年春季前後，各IT企業因擔心採購問題而增加了庫存。設備投資呈現調整態勢，但由於面向5G手機、個人電腦和數據中心的需求，DRAM的庫存正在減少，設備投資或許也會不斷恢復。

　　記者：邁向去碳化的趨勢正在加速。

　　河合利樹：我們正在3個方面採取行動。第一是在資訊通信技術上，降低耗電量越來越重要，我們將借助生産低耗電量器件的設備技術來作出貢獻。第二是隨著設備投入運作，到2030年使每片晶圓的二氧化碳排放量比2018年減少30％。最後，在各業務基地利用可再生能源，把二氧化碳總排放量比2018年減少70％。

　　記者：如何推進數位化轉型的措施？

　　河合利樹：2020年11月搬遷札幌事務所，開設了TEL數位設計園區。力爭通過測量處理晶圓的反應室的微妙狀態變化、利用虛擬測量技術全面檢測晶圓，改善設備的開工率和成品率。在解決現場問題方面，借助遠端支援等不斷提供迅速的技術支援。

　　記者為日本經濟新聞（中文版：日經中文網）佐藤雅哉