三星試用南韓産氟化氫 應對日本出口管制
2019/09/05
南韓三星電子開始在量産半導體的生産線上使用南韓産氟化氫一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加強3種半導體材料的出口管理以後，三星一直反覆測試日本以外的替代品。有分析認為將在一部分量産線上試用，確認是否存在問題。
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| 三星電子的半導體工廠 |
三星電子相關人士9月4日承認，「作為推進供給來源多元化的一環，正在一部分生産線上推進非日本造（氟化氫）的測試」。
行業相關人士透露，三星自8月下旬起，開始在一條生産線上使用南韓企業供應的氟化氫。氟化氫被用於晶圓的清洗等，三星將首先在對品質影響較小的工序上採用非日本造氟化氫。
此次投入量産線的是從中國進口、由南韓企業加工的氟化氫。不過，三星沒有透露企業名等詳細情況。SK海力士也在評估非日本造産品能否用於量産線。
南韓氟化氫的最大進口來源地是中國，但如果僅限於用於生産半導體的超高純度産品，日本的Stella Chemifa和森田化學工業幾乎掌握9成份額。日本企業從中國進口原料，在日本的工廠提高純度之後向南韓出口。
不過，三星對於是否全面採用日本造以外的氟化氫仍持慎重態度。日本政府8月底批准了氟化氫的出口。半導體産業相關人士強調稱，「如果日本造能穩定供應，將繼續使用。此次措施是應對日本不再供給的事態的舉措之一」。
日本經濟新聞（中文版：日經中文網）鈴木壯太郎 首爾報道
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