NIKKEI——日本經濟新聞中文版

       由日本電子零部件企業田村製作所和AGC等出資成立的Novel Crystal Technology在全球首次成功量産以新一代功率半導體材料「氧化鎵」製成的100毫米晶圓。將於2021年內開始供應晶圓。客戶企業可以用支援100毫米晶圓的現有設備製造新一代産品，有效運用過去投資的老設備。

Novel Crystal Technology量産的100毫米氧化鎵晶圓

       功率半導體是用於鐵路和工業設備等大電流控制用途的零部件，還有望在純電動汽車（EV）領域擴大用途。在日本政府的半導體戰略中，功率半導體被視為日本企業保持國際競爭力的領域之一。

       功率半導體材料目前處於過渡期。現在的主流材料是矽，但圍繞損耗更小的電力控制，碳化矽（SiC）和氧化鎵等材料的開發不斷推進。此次成功實現晶圓量産化的氧化鎵有望在相關競爭中佔據優勢。據悉氧化鎵晶圓的價格比碳化矽晶圓低，而且可以更加高效地控制電力。

       氧化鎵成功量産對客戶企業也有好處。由於可以用支援100毫米晶圓等的現有設備來生産半導體，能夠控制住設備投資。日本半導體廠商擁有過多的老式生産設備，這些設備有望得到有效利用。此外，Novel Crystal Technology還計劃2023年供應150毫米晶圓。