NIKKEI——日本經濟新聞中文版

       佳能9月5日發佈消息稱，已開始提供負責半導體製造核心工序的光刻設備的運作支援系統。除了能實時分析設備狀態外，還具備出現異常時自動恢復及提供最佳製造條件的功能。據悉可將客戶的業務效率提高3成以上。佳能將向希望提高業務效率和生産效率的日本國內外半導體廠商銷售該系統。

可以通過畫面一覽各設備的運作情況（示意圖）

       此次開始提供的系統可以將設備聯網，通過畫面確認整體運作情況。能夠根據感測器的資訊等檢測到異常前兆及異常發生，予以提醒，設備即使停機也能自動恢復。

       需要人工恢復時，會顯示操作手冊，並且佳能的技術人員會遠端提供支援，幫助順利恢復。還配備有分析設備停機原因及為提高生産效率而提供改善方案的功能。

       佳能從事半導體光刻設備已有50年以上，該公司的超過3000臺設備在全球運作。該公司充分運用積累的數據，配備了根據産品來優化對準及控制設定等的功能。

       佳能過去也為客戶使用設備提供支援，此次是首次提供涵蓋多種功能的綜合性系統。