愛發科推出半導體設備耐腐蝕處理服務
2021/04/25
半導體
VACAL-Z把要表麵處理的對象物浸入電解液中，作為陽極載入電壓。如果載入比普通氧化鋁覆膜處理更高的電壓，會引起電擊穿，同時覆膜生長，形成有無數小孔的構造。
VACAL-Z表麵處理技術是愛發科從大約10年前，開始面向自家平板螢幕製造設備開發的。其間接到了很多客戶的諮詢，想把這一技術應用於其他企業的設備上。受此影響，愛發科最近已開始提供此項服務。VACAL-Z技術可以應用於內部真空的反應室部件、加熱器、氣體擴散板等。價格根據對象物的面積、形狀、處理數量及覆膜厚度等確定。
日本經濟新聞（中文版：日經中文網）佐藤雅哉
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