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東京電子瞄準1奈米半導體設備加強外部合作

2021/11/04

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半導體

         

  關於IMEC,台積電(TSMC)和英特爾等600多家企業和大學等與之建立了合作關係。隨著半導體線寬邁向微細化,尖端製程的開發難度提高。在此背景下,發揮核心作用的IMEC的存在感正在上升,2020年的營業收入達到約6.8億歐元。

      

  擔任日本産業技術綜合研究所等運營的半導體研究基地「TIA」的運營最高會議議長的東哲郎表示,「IMEC擁有卓越的開發模式,吸引全球各行業企業參加,將在共用目標的同時推進研究」。

    

  在原材料領域也與日本企業展開合作

    

  對於半導體的製程開發來説,不僅是設備,原材料的研究也不可或缺。日本一家大型成膜設備企業的高管表示,「與大學機構和IMEC等,正在推進成膜技術的評估和基礎研究。同時與數十家材料廠商攜手,正推進成膜技術的開發」。對未來半導體技術的先行投資不可缺少。

    

  此外,日本材料企業JSR通過與IMEC的合資公司生産面向EUV的光刻膠,大日本印刷正攜手IMEC開發用於新一代半導體的光掩膜。

    

  新一代半導體採用的電晶體結構等仍未確定的因素很多。日本企業要在半導體相關産業之中生存下去,必須加強與IMEC等其他企業和組織的合作,不斷探索未來技術的方向性。

    

  日本經濟新聞(中文版:日經中文網)佐藤雅哉

  

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