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日本實現全球輸出功率值最高的金剛石半導體

2023/01/18

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半導體

       被稱為「終極功率半導體」、使用金剛石的電力控制用半導體的開發取得進展。與作為新一代功率半導體的碳化矽(SiC)産品和氮化鎵(GaN)産品相比,耐高電壓等性能出色,電力損耗被認為可減少到矽製産品的五萬分之一。金剛石功率半導體的耐熱性和抗輻射性也很強,到2050年前後,有望成為人造衛星等所必需的構件。

 

用金剛石製成的半導體的耐高壓性和耐熱性出色

 

       金剛石的魅力在於其突出的潛能。即便電壓高達矽製功率半導體的約30倍,也不會遭到破壞,而且散熱性能是矽製産品的10倍以上。理論上可實現電力效率優於矽製産品5萬倍的功率半導體。

 

       但難點在於金剛石很難作為電子材料來使用。金剛石在所有材料中最為堅硬。由於不能使用比自身更堅硬的材料來加工,因此很難進行在原子層面上將基板表面磨平等精密加工。而且也尚未確立混入磷或硼而使其具備半導體性質的「摻雜(Doping)」技術。

 

       向這些課題發起挑戰的是日本佐賀大學教授嘉數誠。2022年,嘉數教授與精密零部件製造商日本Orbray合作開發出了用金剛石製成的功率半導體,並以1平方釐米875兆瓦的電力運作。在金剛石半導體中,輸出功率值為全球最高,在所有半導體中也僅次於氮化鎵産品的約2090兆瓦。

 

       為了使其具備半導體的性質,採用了向金剛石基板吹送二氧化氮氣體的方法。通過用氧化鋁膜進行保護,實現了高性能半導體器件。用特殊的研磨方法將基板表面磨平,設法降低了電阻。

 

       開發時使用了昂貴的人造金剛石,嘉數教授表示,「如果技術取得進步,製備金剛石所花費的成本將有望大幅降低」。雖然金剛石往往有著昂貴的印象,但其構成元素是碳,與煤炭、石墨相同,地球上的儲量十分豐富。而且製造過程中也沒有使用貴价的氣體等。

 

       作為鑽石半導體的用途備受期待的是人造衛星用通信設備。現有半導體在放射線下會發生叫做「軟錯誤(soft error)」的誤操作及劣化,因此衛星通信設備上使用的是真空管。

 

 

       如果能用耐放射線的鑽石半導體替代,可以高效使用在宇宙中供應有限的電力。埃隆·馬斯克領導的美國SpaceX的衛星通信服務「星鏈(Starlink)」及太空數據中心等衛星的通信需求將擴大。在地上也有可能成為支援新一代通信標準「6G」和量子電腦的技術。

 

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